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碳化硅微粉的水力分級制法

點擊次數(shù):   更新時間:19/09/26 10:36:09     來源:www.tj-sanhong.cn 分    享:

  
  隨著碳化硅微粉近幾年的發(fā)展,碳化硅微粉憑借著展現(xiàn)自身的優(yōu)點,在各行業(yè)、各領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,并以各項高、精、科學技術(shù)迅速發(fā)展。但由于行業(yè)及用戶對碳化硅微粉的品質(zhì)、純度提出了更高的要求,所以,在加工方法上不斷改進創(chuàng)新。
  碳化硅微粉的提純,分級加工的方法,主要是以主導的水力精分選工藝方式,水溢流分選方式為主。生產(chǎn)出來的碳化硅微粉精分選應(yīng)用效果好,純度高,粒度分布窄,品質(zhì)穩(wěn)定。由于碳化硅微粉在冶煉及粉碎的過程中,會不可避免混入各種雜質(zhì),而這些雜質(zhì)在碳化硅微粉的使用過程中,對其所加工的碳化硅微粉的質(zhì)量和制造的半導體器件的性能等都有非常大的影響,增加制品的不良品率,降低加工品的表面加工質(zhì)量等等。

  碳化硅中的雜質(zhì)主要有碳、三氧化二鐵、三氧化二鋁、氧化鈣和氧化鎂以及二氧化硅等等。這些物質(zhì)在碳化硅微粉做不同的用途時分別產(chǎn)生不同的影響,其中尤其以三氧化二鐵為重。而在碳化硅的工藝流程生產(chǎn)中較多的采用加酸除雜質(zhì)的方式。這種方式的優(yōu)點是成本較低、除雜率高。


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